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<인터뷰 원문>

 

진행 : 디일렉 한주엽 대표, 레드일렉 이종준 심사역

출연 : 바코솔루션 이현종 대표이사, 강성진 기술이사

 

-‘바코’라는 이름은 무슨 의미입니까?

“이게 원래 바다로 간 코끼리라는 약간 인문학 개념이 좀 들어갔는데요. ‘사바나에 사는 코끼리가 남들이 가지 않는 바다로 간다.’ 이런 인문학 개념이 있습니다.”

-코끼리가 바다로 간다?

“‘남들이 가지 않는 다른 방향으로 간다.’라는 의미입니다.”

-바코솔루션은 어떤 사업을 하고 계신 거죠?

“저희는 반도체 PVD 개발, 제조, 판매를 전담으로 하고 있습니다.”

-반도체 분야에서 PVD 스퍼터(Sputter) 장비는 어떤 걸 할 때 주로 쓰입니까?

“메탈 박막을 할 때 사용이 되는 거죠. 그러다 보니까는 아직까지는 기술적인 한계가 있다 보니까, 전공정에 대한 부분에 대해서는 좀 부족한 부분은 있는데,”

-바코솔루션이요?

“네. 근데 후공정 쪽이라든가 아니면 전력반도체라든가 이런 부분에 있어서는 거의 탑 수준이 아닐까라는 생각을 조심스럽게 하고 있습니다.”

-국내에서 시장 점유율이 탑 수준이라는 말씀이실까요?

“지금 국내로는 그게 2016년 기준으로 조금 달라져요. 2016년까지만 해도 저희 장비가 도입되기 전에는 후공정 쪽이라든가 아니면 전력반도체 쪽에서는 아무래도 어플라이드 설비가 거의 90%~100%였고요. 저희 설비가 도입되는 시점 이후로부터는 현재까지 동등 수준이거나 저희가 약간 우위에 있지 않나 이렇게 생각을 합니다.”

-회사 설립 언제 하셨습니까?

“저희가 2013년도에 했습니다.”

-10년 됐네요.

“네.”

-10년 차인가요?

“10년 차인 거죠.”

-그때가 개인 사업자 하시고 법인 전환을 그럼 언제 하셨나요?

“저희가 2013년도에 제가 국산화를 좀 해보고 싶어서 기존에 다니던 회사를 퇴사를 하고 바코솔루션이라는 회사를 창업을 했어요. 그때는 개인 회사로 창업을 했고, 그러다가 2016년도에 법인 전환을 하게 되었죠.”

-그렇군요. 그전에 있었던 회사가 이름이 뭐라고요?

“그전에 있었던 회사는 조인솔루션이라는 회사입니다.”

-아니요. 외국계 회사요.

“마이스텍입니다.”

-마이스텍. 거기 계시다가…

“거기에 있다가 조인솔루션을 제가 같이 창립 멤버로 창업을 했어요. 그러면서 거기에는.”

-거기는 뭐 하는 회사였습니까?

“리퍼비시 비즈니스를 했습니다.”

-PVD 리퍼 하셨습니까?

“PVD 리퍼였습니다.”

-그렇군요. 그러다가 2013년도에 바코솔루션을 설립을 하셨고, PVD 장비 국산화를 기치를 걸고 회사를 설립을 하셨는데, 지금 후공정 쪽에 주로 쓰인다고 하면 어디에 어떻게 얼마나 공급을 하셨습니까?

“후공정이라고 하면 저희는 어쨌든 박막 설비이기 때문에. 범핑 프로세스에 PVD를 전담으로 사용을 하고 있습니다.”

-범핑 잘하는 기업들에 들어가겠군요.

“일단 한국을 대표하는 회사는 아무래도 네패스, LB세미콘, 하나마이크론 기타 여러 회사가 있는데요. 그중에 저희가 대부분 후공정 회사에는 다 장비가 입고가 돼 있고요. 거의 지금 50대50 어플라이드 설비랑 그 정도 점유율을 하고 있습니다.”

-그 집들은 DDI 이런 거 많이 하는…

“DDI보다도 일단은 WLP(Wafer Level Packaging), 팬아웃(Fan-Out). 요즘에는 워낙 후공정 자체도 굉장히 수준이 올라가 있고 굉장히 크리티컬한 공정이 많다 보니까 아무래도 어플라이드 설비에서 기존 리퍼브 했던 설비를 사용하기에는 아무래도 아직은 조금 미흡한 점이 있어서 어떻게 보면 계속 설비가 업그레이드 되고 계속 보완이 되는 부분이 있습니다. 거기에 맞춰서 저희가 어떻게 보면 커스터마이징을 하고 있습니다.”

-지금 어플라이드가 굉장히 잘하는 시장에 2016년부터 범핑 라인에 지금 양산용 PVD 공급을 하고 계신데. 뚫고 들어가기 되게 쉽지 않았을 것 같은데요.

“처음에 그랬습니다. 근데 이게 아무래도 사업하다 보니까 이게 운칠기삼이라고 저희가 2017년도에 어플라이드 중고설비 시장이 쇼티지가 났었어요. 보통 범핑 시장에는 한참 중고설비를 도입을 하는 그런 시대였었거든요. 워낙 설비 가격이 비싸고 하다 보니까. 그래서 이제 리퍼 비즈니스가 막 활성화되다가 중국에 한참 팹 증설되고 하면서 어플라이드 이런 설비들이 다 중국 시장으로 넘어갔습니다. 그러다 보니까 국내에 어플라이드의 중고설비가 없다 보니까. 그때 4차 산업혁명도 일어났고, 그러면서 수요는 있는데 공급할 수 있는 장비가 없다 보니까 ‘국산화를 해봐라’ 해서 은연 중에 저희가 아는 파트너한테 “한번 국산화 한번 해볼래?”라고 연결이 돼서 어떻게 보면 4개월 만에 저희가 장비를 셋업을 한 거죠. 그러면서 300mm가 처음에 성공을 하고, 성공을 하다 보니까 이제 200mm도 준비를 해달라라는 부탁을 받고 200mm를 또 준비를 하고 그러다 보니까는 지금 뭐, 이게 이제 그런 거죠. 보수적인 어떤 개념이 있어요. 장비가 아무리 좋아도 보통 양산에 적용을 하지 않거든요. 그런데 저희 같은 경우는 그 당시에 워낙 양산 물량은 많은데 장비가 없다 보니까 ‘이거라도 도입을 해서 빨리 해보자’라는 어떤 이런 운이 좀 따랐습니다.”

-그때 첫 고객이 어디였습니까?

“그때 첫 고객이 네패스였습니다.”

-네패스가 또 범핑 굉장히 잘하는 회사죠. 삼성으로부터 물량도 많이 받고요. 그쪽에 들어가서 계속 LB세미콘, 하나마이크론 같은 고객도 넓히고 물량도 늘리고 했던 거군요. 기술적인 부분에 대해서 설명 좀 해주시면 좋겠어요. 회사에서 ‘우리의 스퍼터 장비는 다른 경쟁사 대비 이런 쪽에서 기술 경쟁력이 있다.’라든지 이런 것들에 대해서 소개를 부탁합니다.

“PVD 설비 자체가 워낙 물리적인 에너지를 얼마나 잘 활용하냐, 그리고 그 물리적인 에너지를 얼마만큼 잘 컨트롤하냐에 따라서 저희가 가장 이상적인 박막을 기대할 수가 있어요.그런데 그중에 저희 같은 경우는 파워 어플리케이션이 좀 많아요. 그러니까 기존의 설비 같은 경우는 DC파워를 활용을 했다라고 하면, 저희는 ‘RF+DC’, ‘DC’, ‘Pulse DC’ 등 다양하게 고객의 요청에 따라서, 아니면 또 막질에 따라서 파워에 대한 변화가 가능하고요. 또 그런 파워를 또 얼마만큼 잘 컨트롤을 하고 얼마만큼 균일하게 안정되게 박막을 하냐는 이 마그네트론(Magnetron)의 설계에 있다고 보시면 되겠습니다. 그러다 보니까 저희 같은 경우는 모든 소재의 특성을 고려해서 마그넷에 대한 가우스(Gauss) 선정을 하고, 거기에 따른 또 패터닝을 하고, 그러면서 마그넷 자체에서 포텐셜 에너지를 활용해 가지고 가장 이상적인 박막을 결정하게 됩니다.”

-그 전에 외국계 회사에서도 스퍼터 장비를 개발하셨고, 그 뒤에 리퍼브 회사에서도 계셨으니까 그 장비에 대해서는 굉장히 많이 꿰고 있다라고 봐야 되겠네요.

“제가 이렇게 베리안이라는 설비를 처음에 배우면서, 워낙 베리안이라는 설비 같은 경우는 80년대 설비였어요. 워낙 그 당시에는 어플라이드 설비보다는 PVD라고 하면 베리안 설비가 거의 대부분 삼성에서도 도입을 하고 사용을 했었을 때였으니까요. 워낙 그 설비 자체가 워낙 시대가 지나고 흐르다 보니까 노화가 되죠. 그러면서 파트를 대체해야 되는데, 대체 파트가 없었던 거예요. 그러다 보니까 ‘대체 파트를 어떻게 하면 국산화 할까?’, ‘어떻게 만들어볼까?’ 계속 이런 연구를 좀 했던 것 같아요. 그러면서 이제 어플라이드 시대가 오고, 어플라이드 리퍼브에 대한 또 그 시대가 왔지만, 그것 또한 쇼티지가 나고. 그러다 보니까 또 설비 파트에 대한 부분도 수급하기가 굉장히 어려웠던 부분이죠. 그러면서 어플라이드 설비에 대한 대체 파트 개발. 이런 것들을 하면서 가장 핵심적인 건 아무래도 스퍼터의 소스 개발. 아까 말씀드린 파워의 어플리케이션. 그리고 거기에 따른 마그네트론. ‘이것만 좀 대체를 하면 충분히 가능하겠다.’라고 해서 아마 그쪽 부분을 좀 포커스를 두고 팠던 것 같아요. 그러다 보니까 고객사에서 저희 마그넷을 먼저 사용해보고, 이러다 보니까 점점 타깃 라이프타임도 올라가고. 그리고 타깃 라이프타임이 올라가니까 원가 절감도 되고. 그러면서 또 생산률도 올라가고. 그러면서 이제 ‘그러면 너희가 한번 장비 개발해봐.’라는 이런 요구가 있었습니다.”

-스퍼터 장비는 대당 가격이 얼마 정도 되나요?

“저희 나름은 경쟁력 있는 가격이라고 생각합니다. 일단 저희는 어플라이드 설비에 사용되는 파트는 거의 다 사용을 해요. 센서라든가 게이지류라든가 대부분 동등한 파트를 사용하고 있고요. 단지 뭐냐 하면, 플랫폼 개발을 저희가 자체적으로 하고 있습니다. 거기에 따른 장비에 대한 설계 디자인. 그러다 보니까 아무래도 저희 자체적인 국산화 작업을 하면서, 어플라이드 설비 대비 50~60% 수준이라고 보시면 되겠습니다.”

-가격이요? 100원에 팔면 50원에 판다는 얘기군요?

“그렇습니다.”

-지금 스퍼터 장비, PVD 장비는 어플라이드가 워낙 잘 하고 있는데, 어플라이드 말고 다른 경쟁자들도 있습니까?

“물론 많죠. 물론 많은데, 이제 국내에는 워낙 뭐냐 하면 삼성 고객사들이 후공정 하는 경우들이 많았었어요. 그러다 보니까 삼성에서 처음에 범핑라인이 있었을 때 그 설비 자체가 베리안 설비 아니면 어플라이드 설비였었어요. 범핑 프로세스를 할 때. 그러다 보니까 그 후공정의 파운드리 업체들도 당연히 삼성 설비를 도입을 해야 되는 그런 부분이 있었기 때문에. 처음에 시작했던 게 어플라이드 설비로 저희는 먼저 시작을 했던 거고. 베리안 설비 아니면, 어플라이드 설비를 시작했고. 거기에 타겟팅을 해서 저희가 저희의 설비를 만들게 됐는데, 워낙 해외에 다른 어떤 OSAT 쪽에는 많이 아시는 SPTS 설비도 있고 에바텍 설비도 있습니다. 아직까지는 저희가 국내 시장의 점유율이 어플라이드 대비 50% 이상 된다고 하지만, 향후 그런 경쟁사를 생각을 한다라고 하면, 국내에서는 저희가 거의 나중에는 100%가 되겠지만, 해외적인 부분에 있어서는 저희가 뭔가를 좀 고민해야 될 필요가 있을 것 같다. 그래서 분명히 그런 경쟁사의 설비에 대한 부분도 저희가 좀 고려를 해야 될 것 같다라고 보여지고 있습니다.”

-지금 보니까 한 2017년부터 이제 본격적으로 매출이 난 것 같은데 2016년에 PO를 처음 받고 하시면서. 근데 운칠기삼이라고 대표님이 스스로 말씀을 해주셨지만. 하여튼 짧은 시간에 이렇게 만들어서 공급한 것도 대단한 일인 것 같고. 어쨌든 그 뒤로도 계속 매출이 계속 쭉 100억원 정도 되는 매출 수준. 80억~90억원 정도 수준으로 계속 유지하신 것도 제가 볼 때는 안정적으로 계속 조금씩 성장하고 있는 것 같은데, 그 과정에서 이렇게 ‘갑툭튀’라고 합니까? 어플라이드나 이런 기존의 플레이어들이 봤을 때는, 물론 우리가 한국에 팔지 않고 다른 데 팔아서 ‘쇼티지가 나서 나 못 팔아요.’ 해서 이제 들어간 거라고 말씀하시긴 했지만, 다른 플레이어 후발주자가 따라 들어와가지고 이렇게 했을 때는 분명히 좀 시비도 걸 수 있을 것 같다라는 생각도 드는데, 그런 일도 있었어요?

“우선은 설비에서 가장 큰 부분이 특허 쪽인데요. 어쨌든 이 스퍼터에 대한 기본적인 기술에 대한 부분은 이미 80년대 시장에서부터 이미 정해져 있는 기술이었습니다. 단지 뭐냐 하면, 얼마만큼 그 기술을 좀 더 특색 있게 활용하냐에 따른 부분인데. 저희가 그중에 뭐냐 하면 소프트웨어는 저희 자체적으로 일단 개발이 된 거고요. 또 거기에 대한 소스 설계라든가 마그네트론. 이런 부분들이 저희 자체적인 능력으로 설계를 했던 부분이어서 그렇게 타사에서 시비를 붙일 만한 이벤트는 없었고요. 단지 뭐냐 하면, 저희가 뭔가 전공정인 프로세스에 도입을 하기 위해서는 아무래도 저희가 ‘E-Chuck’이라든가 ‘MCA E-Chuck’. 이런 기술이 필요한 부분들을 저희가 도입을 해야 되는데, 그런 부분들이 아무래도 어플라이드사에 특허 조건이 돼 있기 때문에 이런 부분에 대해서는 조금 저희가 풀어야 될 숙제로 남아 있습니다.”

-법인 설립하고 워낙 잘 되셔가지고. 그럼 지금까지는 투자 없이 쭉 회사가 이어오신 거죠? 앞으로 그럼 투자 유치 계획도 있으신가요?

“일단 저희가 장비를 딱 개발하고 나서 갑작스럽게 어떤 장비의 고객들이 ‘이 설비는 사용 못하고 저희 설비만 사용하겠다’라는 어떤 팬텀층이 생겨났어요. 그러다 보니까.”

-그건 왜 그렇습니까?

“그게 뭐냐면, 그 어플라이드 설비는 아무래도 획일화 돼 있는 설비고, 아무래도 플렉서블한 고객의 니즈나 커스텀이 안 되기 때문에 그런 부분들이 저희한테는 그게 가능하다 보니까.”

-고객이 원하는 대로 커스텀이…

“네. 그러다 보니까 실제 지금 아까 말씀드렸듯이 국내 시장에만 저희가 점유를 하고 있지만 해외에서도 니즈가 와요. ‘에바텍 설비라든가 SPTS 설비는 이런데 너희들이 그걸 좀 해줄 수 없냐?’라고 해서, 저희가 해외 시장을 준비를 하다가 코로나 때문에 갑자기 이렇게 된 거고, 내년부터는 계속 해외 시장에 장비가 납품이 됩니다.”

-해외 OSAT요?

“네. OSAT, 파워 반도체 이런 쪽에 납품이 됩니다.”

-그렇군요. 회사 이름은 얘기할 수 없죠?

“네. 그러다 보니까 아무래도 경쟁력 있는 가격임에도 불구하고, 국내에서는 그래도 저희가 독보적인 회사가 돼버렸어요. 그러다 보니까 이게 또 아무리 경쟁력 있는 가격이라고 해도 영업이익률이 좀 높습니다. 높다 보니까 이게 자금 쪽으로 아직까지는 고민해 보지는 않았어요. 이번에 저희가 ‘용인반도체클러스터일반산업단지’에 1400~1500평의 규모로 신축을 준비를 하고 있습니다. 그 또한 저희가 자체 능력으로 지금 준비를 하고 있는 거여서 일단 아직까지는 고민을 해보지는 않았지만. 아무래도 아까 말씀드렸듯이 저희가 그래도 다양한 공정을 하기 위해서는 장비 개발에 대한 부분이 또 들어가야 되는 부분이어서 그런 부분들에 대해서는 그래도 자금적인 부분이 필요하지 않나 조심스럽게 생각을 합니다.”

-당장은 없다?

“네. 당장은 없지만 그래도 투자 유치는 좀 필요하지 않을까라는 생각을 근래에 조금씩은 하고 있습니다.”

-투자 유치까지도 좀 고민해 볼 만큼 자금 사정은 여유가 좀 있으신데, 지금 이 과제에 지원하시게 된 동기가 좀 있을까요? 이 과제가 스타트업 기업한테는 그래도 큰 금액의 사업화 자금이 지원은 되지만…

-‘초격차 스타트업 1000+’ 이거 얘기하시는 거죠?

-네. 그렇습니다.

“그 부분은 제가 좀 말씀드리겠습니다.”

-잠깐만요. 이게 자금이 얼마나 들어오죠?

“총 저희 기업부담금과 정부지원금 합쳐서 3년에 약 10억원 정도 예상하고 있습니다.”

-합쳐서 10억원이요? 아니면…

“3년 합쳐서 10억원 예상하고 있습니다.”

-네. 그걸로 어떤 걸 지금 개발하고 계신거죠?

“저희는 창업을 하고, ‘혁신분야 창업패키지’ 분야에 지원을 하게 됐는데요. 우연치 않게 좋은 프로그램이 있어서 지원을 하게 됐습니다. 3년 전부터 OSAT에 관련된 어떤 프로젝트를 갖고 계속 과제에 문을 두드리게 됐는데 ‘초격차 스타트업 1000+’라는 프로그램에 선정이 되게 됐고, 국내에서 한 20여개가 선정이 됐는데요. 그 과제를 통해서 여러 가지 홍보 제작도 가능하고, 세미나를 통한 기술 지원. 아니면 그런 정부지원금을 통해서 저희가 자체 플랫폼을 개발하는 부분에 대해서 금전적인 지원을 많이 받고 있는 상황입니다.”

-그렇군요.

-혹시 이 과제는 근데 이렇게 정확한 명칭은 ‘혁신분야 창업패키지(신산업 스타트업 육성)’이었나요? 그런 것 같고, 혹시 다른 정부 과제도 하고 계신 게 있나요?

“저희가 작년에는 경기도 스타기업에 선정이 돼서, 짧은 과제였지만 1년 동안 마감을 했고요. 지금 이 산업통상자원부 이하의 차세대 지능형 반도체 관련해서 2세부 주관기관을 맡아서 1년 차 업무를 진행하고 있습니다.”

-2세부 주관은 과제가 뭐예요?

“차세대 지능형 반도체 내부에 ACL 공정에 대한 딥러닝 기술이 접목된 PVD 설비 개발입니다.”

-그거 좀 쉽게 일반인들이 알아들을 수 있게 좀 설명해 주시면 좋겠습니다.

“기존에 두 가지 항목이 있는데, 지금 기업들에서 대두되고 있는 장비의 지능화, 인공지능화를 목표로 하고 있고요. 양산 라인에서 발생되는 많은 문제점을 해결할 수 있는 방법을 모색을 하다가 장비 내부에서 이루어지는 다양한 이슈 사항을 센서나 소프트웨어의 어떤 이벤트 로그를 통해서 정확한 데이터를 정리를 한 다음에 어떤 문제점이 발생하는지, 최적의 환경은 어떤 건지 이런 부분을 1차적으로 지원하는 과제를 하고 있고요. 두 번째는 저희가 지금 반도체 양산 라인에서 사용하고 있는 하드마스크 공정인 ACL(Amorphous Carbon Layer)공정이 있는데요. 현재는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)를 통해서 고온용 공정을 진행하고 있어요. 근데 그 고온용 공정에서 발생되는 장비 열화 문제라든지 아킹(Arcing) 문제로 인해서 이 부분을 어떻게 하면 해결할 수 있을까라는 고민을 하다가 ‘이 과제의 접목을 물리기상증착 방식의 PVD 방식으로 저온용 ACL 공정을 한번 개발해 보자.’라고 해서 한번 접목을 하게 됐습니다.”

-그거 개발하면 누가 씁니까? 전력반도체 회사들 뭐 이런 데가 씁니까?

“네. 지금 당장은 전공정에는 규명을 해서 정확한 데이터를 뽑을 수가 없기 때문에 전력반도체의 하드마스크 공정은 아니지만, 비슷한 탭핑(tapping) 공정이 있습니다. 그래서 ‘TIN막’이라든지 ‘PR막’을 대체할 수 있는 막으로 탭핑 공정을 사용을 해서 그 부분에 먼저 적용할 예정이고요. 실제 저희가 이번에… 오늘 출하한 장비가 또 연구소 쪽에 국가연구기관에 들어갔는데, 거기에 ACL이라는 챔버를 구성을 해서 다른 종류의 파워 서플라이를 이용해서 결정화 구조를 얻을 수 있게끔 장비를 납품했습니다.”

-대표님이 처음에 회사 2013년도에 설립하셨고, 2016년 이때부터 매출이 쭉 나와서 왔는데, 이 정도 매출을 내려면 우리가 재료매입도 해야 되고, 돈이 좀 필요했을 텐데 자본금이 5000만원이더라고요.

“맞습니다.”

-자금 어떻게 하셨어요?

“그러니까 제 몸값이었습니다. 처음에 2013년도에 개인사업 했었을 때는 아무래도 제가 어떤 기술력이 나름 있다 보니까, 가서 엔지니어링 하면서 아니면 또 설비의 문제 이슈들 잡아주고, 그리고 또 설비의 어떤 부족한 부분들을 커스터마이징 해주면서, 아무래도 그런 몸값을 좀 많이 받았던 것 같아요.”

-개인 사업하실 때는 혼자 일하면서 번 돈으로 충당하셨다는 얘기인거네요?

“물론 저희 강성진 이사도 있지만 강성진 이사가 설계 출신은 아닌데요. 이게 본인이 제조하면서 자기가 설계를 하면 좋겠다라고 해서 그 이후에 설계를 공부를 했어요. 그러니까 아무래도 제조를 알고 설계를 하다 보니까 그 설계의 어떤 부족한 부분들이 충분히 해결이 돼서, 내가 ‘이렇게 커스터마이징 할 건데 이렇게 좀 설계 좀 해줘.’라고 하면 워낙 제조도 했고, 장비를 알던 친구다 보니까 이거를 이렇게 딱 해주더라고요. 그래서 그런 부분들이 저희한테는 어떻게 보면 시드머니가 됐고, 그 시드머니가 장비를 만들 수 있는 금액으로 쌓였던 것 같아요. 그러면서 아무래도… 그렇게 됐고, 그다음에 제가 나름 또 그전에 그래도 회사의 영업이사였는데요. 제가 영업이사를 하면서. 2년 동안 제가 영업 지사장을 맡고 있었어요. 그러면서 거기에 대한 급여로 또 이렇게 또 나눠 갖고 이러면서 저희가 셋이 처음에 창업을 하면서 그 시드머니를 만들지 않았나, 장비 개발하는. 그런 과정이 있었습니다.”

-외부 투자를 한 번도 안 받으셨고, 지금 지분 구조는 어떻게 돼 있습니까?

“지금 제가 한 70% 정도 갖고 있습니다.”

-그럼 초기에 공동으로 같이 하셨던 분들도 좀 가지고 계시고.

“맞습니다.”

-지금 제가 보니까 2019년에서 2020년으로 넘어오면서 2020년부터는 이익률이 확 올라갔어요. 왜 그런 겁니까?

“아무래도 그게 저희가 자체적으로 플랫폼 개발을 하면서요.”

-플랫폼이라는 건 어떤 플랫폼…

“플랫폼이라고 하면 우리가 이제 프로세스 챔버가 달려 있고요. 가운데에서 등뼈 역할을 해주는 녀석이에요. 그러니까 웨이퍼를 전송해주는.”

-백본(Backbone) 말씀이시죠?

“그래서 그 플랫폼을 기존에는 저희가 브룩스사의 백본(Backbone)을 활용을 했었어요. 근데 아무래도 그것 또한 저희가 차곡차곡 기술을 좀 하면서 저희가 ‘그럼 우리가 한번 만들어보자.’ 그리고 워낙 코로나 때 한참 납기에 대한 이슈가 많이 있었어요. ‘3년 걸린다’, ‘2년 걸린다.’ 근데 고객사들은 ‘당장 장비 납품해라.’”

-그러니까 그 백본을 브룩스나 라온테크나 이런 데서 안 받아오고 직접 다 만드셨다는…

“직접 만들었습니다.”

-그러면서 이익률이 확 올라간 겁니까?

“그렇습니다.”

“부가적인 설명을 좀 드리자면 실질적으로는 납기 문제나 이런 부분 때문에 전문 플랫폼 회사에서 플랫폼을 공급받아야 맞는데. 현재까지 국내에서는 양산용 PVD를 생산했던 플랫폼 회사가 없었습니다. 그래서 일반 CVD나 식각 설비 같은 경우에는 싱글 클러스터 장비나 땅콩 챔버의 개념으로 플랫폼이 설계가 됐는데, PVD 같은 경우에는 듀얼 클러스터 구조를 갖고 있어요. 그렇다 보니 국내에서 양산하는 플랫폼 회사 자체가 저희가 양산하는 플랫폼 자체를 생산해 본 적이 없었던 거죠. 그래서 그런 부분과 그런 문제점으로 인해서 저희가 자체적으로 플랫폼 개발을 하게 된 겁니다.”

-‘그냥 우리가 하자.’

“그렇죠.”

-앞으로도 그러면 그렇게 계속 쭉 가시는 겁니까?

“쭉 갑니다. 그러니까 이게 좀 고민이었던 게, 또 그 고객사에서 안정된 브룩스 백본을 활용을 하는 거에 대한 부분에 대해서 굉장히 저희가 설비를 처음에 노크를 했었을 때는 ‘너희들 백본은 뭐냐? 로보트는 뭐냐?’ 뭐 이런 스펙이 되게 중요했었거든요. 그래서 백본에 이 부분도 이거 바꾸려고 했었을 때 참 고민을 했었는데. 그래도 또 고맙게도 ‘너희가 하면 된다’라고 해서 그래서 백본을 과감하게 바꿔서.”

-그래서 이익률이 한 4~5% 정도였던 것 같은데, 그 뒤로는 거의 한 20% 정도까지 올라온 것 같아요.

“네. 지금 이익률이 20~30%까지 올라갔죠.”

-그렇군요. PVD 스퍼터 공정이 사실은 지금 말씀하신 후공정 쪽에 범프 라인에 주로 들어가고 있는데, 이게 사실 애플리케이션이 굉장히 다양하지 않습니까?

“다양합니다.”

-확장할 계획이 있으십니까?

“확장할 계획이 있습니다.”

-그게 디스플레이에도 들어가고요. 반도체도 지금 여러 공정에 펌프 말고도 들어갈 텐데, 확장 계획이 있으시다면 구체적으로 어떤 공정에 언제 정도에 확장을 어떻게 하기 위해서 뭘 개발하고 있다든지 이렇게 구체적인 플랜이나 이런 것들이 좀 있습니까?

“우선은 저희가 어쨌든 지금 패키징에 최적화된 설비를 지금 준비를 했고. 또 거기에 맞춰서 고객의 니즈에 맞춰서 커스텀을 했는데, 앞으로 향후 후공정만 하더라도 팬아웃부터 다양한 애플리케이션들이 많이 나옵니다. 그거에 따라서 장비에 변화를 줘야 되는데, 아무래도 그 변화를 준다는 게 기존에 있는 기술을 갖다가 하기는 좀 힘들어요. 그러니까 예를 들면, 보통 저희가 플라즈마 온도가 있어요. 보통 CVD 같은 경우는 5000도~6000도라고 하거든요. 근데 PVD 같은 경우는 플라즈마의 그 에너지가 갖고 있는 온도가 한 3000도가 됩니다. 근데 아무래도 이게 저온 공정인 PVD라고 하지만, 그래도 RF라든가 아니면 DC를 활용을 해서 이온화를 할 때는 플라즈마 온도가 굉장히 많이 올라가요. 그래서 실제 웨이퍼에 전달된 온도는 플라즈마 온도가 한 200도까지 올라갑니다. 그러다 보니까 그런 부분에 대해서 무너지는 부분들이 있어요. PR이나 이런 것들이 무너지는 부분들이 있는데. 이런 부분들을 어떻게 보면 ‘MCA E-Chuck’이라든가 ‘E-Chuck’을 사용하지 않고, 자체적으로 템포를 한 80도, 50도 그 언더로 컨트롤 할 수 있게 저희가 지금 Chuck을 개발을 하고 있습니다. 그러니까 결국에는 ‘‘MCA E-Chuck’, ‘E-Chuck’을 쓰면 되지 않냐?‘라고 하는데, 보통 패키징 쪽은 와피지(warpage, 휨 현상)이 나요. 후공정이다 보니까. 근데 그걸 가지고 E-Chuck으로 당기면 스트레스를 받아서 데미지가 있습니다. 그래서 당기지 않으면서도 어떻게 보면 좀 더 온도를 낮출 수 있는 그런 Chuck을 지금 개발을 하고 있습니다.”

-그럼 그렇게 온도를 낮추는 공정이 가능해지면 대체로 들어갈 수 있는 어플리케이션이 어떤 공정이 있나요?

“너무 많아서요. 팬아웃 공정이라든가 아니면 Thin Wafer(박형 웨이퍼)도 컨트롤이 가능하고. Thin Wafer(박형 웨이퍼) 같은 경우는 왜곡이 워낙 심한 웨이퍼이다 보니까. 그런 웨이퍼에 대한 부분도, 어떤 열적 데미지나 이런 부분들 해결할 수 있는 부분인 거고. 실제 어떤 물리적인 힘으로 누르는 것이 아니기 때문에 아무래도 애플리케이션 플렉서블한 디스플레이나 이런 쪽에도 굉장히 널리 활용할 수가 있다고 보면 되겠습니다.”

“추가적으로 저희의 투자 계획을 말씀을 드리면, 기존에는 OSAT 기업에 대한, 범핑에서 WLP나 DDI 공정으로 접근을 했는데요. 지금 차세대반도체인 전력반도체에서 SiC 기반의 MOSFET 공정. 트렌치 구조를 갖는 MOSFET 공정. 백메탈이나 프론트메탈. 탭핑 공정에 적용할 수 있는 쪽에 비즈니스를 좀 많이 보고 있고요. 현재는 자동차 배터리 시장하고 전력반도체 시장이 같이 성장하는 추세이기 때문에 전력반도체에 투자를 많이 할 계획에 있습니다.”

“이 부분도 다 Thin Wafer(박형 웨이퍼) 구조가 많아서. 그런 열적인 부분이나 이런 거를 해결하지 않으면 아무래도 앞으로 좀 더 발전하기가 좀 힘들어졌다는 생각을 해서 저희가 자체적으로 Chuck을 개발을 하고 있습니다.”

-그럼 전력반도체 쪽이면 예를 들어 온세미컨덕터라든지 최근에 상장한 시지트로닉스라든지 DB하이텍 이런 쪽도 SiC를 지금 준비를 하고 있는데, 그런 데가 신규 고객사로 들어올 수 있다는 겁니까?

“시지트로닉스는 저희가 3년 전에 파워디바이스 전용 설비를 납품을 했고요. 갈륨 나이트라이드(GaN) 기반의 통신 쪽 전력반도체를 지금 개발 중에 있는 걸로 알고 있습니다. 저희 설비를 이용해서 지금 개발 중에 있고, S사의 계열사가 된 지방에 있는 회사에…”

-파워테크닉스요?

“네. SK.”

“올 초에 장비가 국내 최초로 한 3대 정도 입고가 됐고요.”

-그래요? 그거는 언제 됐죠?

“4월, 6월, 7월정도 됐습니다.”

-그럼 지금 범프에서 전력반도체 쪽으로 영역이 확 확장되는 시기를 앞두고 있다라는 거 말씀인 거군요?

“맞습니다.”

-그러면 과거 몇 년간의 매출이 아직 100억원은 안 넘었죠?

“저희가 작년에 270억원인가를 했어요. 270억원인데 그게 올해로 140억원인가 넘어온 수주를… 그래서 작년같은 경우는 엄밀히 따지면 저희가 270억원을 한겁니다.”

-그렇군요. 서류에는 98억원 이렇게 돼 있어서…

“네.”

-그래도 우리가 자를 건 제대로 자르고 얘기해야 되는데. 그러면 올해는 매출 어느 정도 합니까?

“올해는 작년에 기본적으로 받았던 매출이 있다 보니까 처음에 1월달에 시작하면서 140억원을 갖고 갔어요.”

-바로요? 작년에 98억원 했는데?

“네.”

-서류상으로는 그렇다는 거죠. 올해는 그러면 얼마나… 200억원 넘습니까?

“아닙니다. 올해도 제가 생각할 때는 한… 올해는 워낙 아시겠지만, 반도체 쪽이 굉장히 비수기였습니다. 불황이었습니다. 큰일 납니다 이거. 그래서 올해 같은 경우는 아무래도 조심스럽게 한 160억~170억원 정도 예상을 하고 있습니다.”

-내년은요?

“내년은 아마 많이 매출이 좀 올라갈 거라고 생각이 들어요. 그러니까 해외 시장도 열려 있고.”

-해외 시장 판매하는 거, 그 기존 고객들…

“그리고 워낙 반도체가 사이클이 있어요. 더구나 패키징 쪽 같은 경우는 이게 사이클 폭을 어느 정도 제가 비즈니스를 하다 보니까 알겠더라고요. 그래서 내년 정도면 아무래도 어떻게 보면 양산이 좀 극대화 되지 않을까. 거기에 따른 또 장비 수요가 있지 않을까. 이렇게 조심스럽게 예상을 좀 해보네요.”

-5년 뒤에 회사의 볼륨이나 위치를 어떻게 보고 계세요? 그림을 어떻게 그리고 계십니까?

“원래는 이게 그래도 국산화를 개발하다 보니까 주위에 투자 유치를 하시고자 하는 분들도 많으시고. 또 IPO 하자고 하는 주관사들도 많이 있는데, 이게 아직까지 제가 대표로서 준비가 좀 안 돼 있는 것 같아요. 좀 더 뭔가를 제가 스스로가 좀 일궈내고, 그 이후에 제가 뭔가를 해보고 싶은 마음이 있는 건지. 그래서 아직 제가 이런 욕심이 있다라는 거는 IPO 하기에는 아직 좀 아니지 않나라고 해서, 조금 지금 제가 그 IPO에 대한 부분에 대해서 조금 조심스럽게 고민을 하고 있는 중인데, 아마 5년 뒤면 좀 더 큰 회사가 돼 있지 않을까요? 워낙 이제 지금 바로 IPO도 가능한 것처럼 나오다 보니까. 아마 큰 회사가 돼 있지 않을까라고 예상합니다.”

-그렇군요. 지금 매출도 그렇고 이익률도 이렇게 나오고, 투자도 받은 게 없고. 옆에서 쪼는 사람도 없으니까 ‘굳이 우리가 지금 상장을 해야 되느냐?’ 뭐 이런 생각이 좀 있으신 겁니까?

“그런 생각도 있고, 나름 또 이것저것 해보고 싶은 욕심이 있어서.”

-왜냐하면 공개되고 나면 주변에 시어머니들이 좀 많아지는 부분들도 좀 있거든요.

“맞습니다.”

-그래서 그런 건지… 그렇군요.

-말씀하셨던 준비라는 게 어떤 준비를 말씀하시는 거죠?

“그러니까 저희 회사가 ‘바코솔루션’이거든요. ‘바다로 간 코끼리’인데, 좀 남들이 가는 방향이 아닌 또 다른 방향으로 좀 한번 가보고 싶어서, 일단 제가 지금 고민하는 게 내플라즈마 시장도 코팅 시장을 보고 있어요. 내플라즈마 코팅 시장뿐만 아니라.”

-내플라즈마 코팅 시장이라면 어떤 데에 적용되는 겁니까?

“에칭이라든가 CVD의 플라즈마에 가는 데미지를 좀 막기 위해서 코팅을 하는 부품 코팅이라고 보시면 됩니다.”

“프로세서킷의 라이프타임을 증가시키기 위해서 내플라즈마 코팅을 해서 내구성을 올리는 작업이죠.”

“근데 저희가 그거를 코팅을 한 번 했었는데 챔피언데이터를 얻은 거예요.”

-그게 기존에 잘하는 플레이어가 누구입니까?

“미코세라믹스도 있고. 근데 조심스럽게 얘기를 하면. 보통 경도 단위로 체크를 해요. 이게 아무래도 경도가 높아야 어쨌든 보호에 대한 효과가 크다 보니까, 지금 아마 10~12GPa(기가파스칼)에서 경도가 이루어지고 있는 것 같아요. 저희가 모 업체를 통해서 설비를 한번 납품을 했었는데, 그 회사에서 실측된 결과가 거의 한 20GPa(기가파스칼)이 나왔어요. 전 세계적으로 제가 그 경도로 봤을 때는 가장 단단한 막질이 결정화 됐다라고 보여지는 거여서.”

-그 사업은 근데 좀 인프라가 많이 들어가야 되는 사업 아닙니까?

“그래서 그거 하고 나서…”

-덩치들 큰 거를 자꾸 받아서 우리가 쓰던 것도 갖고 와서 또 코팅 또 해줘야 되고 막 이런 것이잖아요.

“네. 근데 저희가 그거를 장비를 팔지, 아니면 우리가 미코세라믹스처럼 서비스를 할 건지. 그런 부분들은 고민을 해야 될 것 같고.”

-그건 신사업으로 지금 준비하고 계신 거군요?

“네. 조심스럽게 조금씩 가고 있고요. 그다음에 워낙 저희가 처음 스타트 했었을 때 시드머니로 처음에 어떤 효자 제품이 있어요. 그게 뭐냐하면 ECS-Chuck, MCA-Chuck 딤플 코팅하는 설비입니다. 그러니까 TiCN코팅, DCL코팅. ECS-Chuck, MCA-Chuck 딤플에 코팅을 하는데요. 그게 원래는 발저스 코팅이라고 해서 미국에서만 그게 가능했었어요. 근데 이제 국내 어떤 세컨 소스 업체에서 저희한테 의뢰를 해서 저희가 코팅 장비를 만들어 드렸는데, 그게 코팅 정도가 거의 이상 수준이 나와서 그것 또한 ‘우리가 이렇게 잘했나?’ 그러면서 영업 안 해도 장비가 이렇게 납품할 정도로 그런 부분이 있었어요. 그런 시기가 있었고. 그래서 그런 코팅 쪽. 그리고 좀 더 보태면 자동차 페인트 코팅을 좀 해보고 싶어서. 그러니까 우리가 요즘 워낙 자동차 실기스 방지한다고 유리막코팅도 하고, PPF 필름도 붙이고 하잖아요. 그런 것들을 유리막코팅이 이런 도포 방식이 아니라, 아예 그냥 스퍼터링 방식으로 좀 코팅해보고 싶은 그런 사업 아이템이 좀 있다 보니까 좀 해보고 싶은 게 많아서 그렇습니다.”

-근데 당장은 아직 구체적인 상장 계획이 있는 것은 아니다.

“그렇습니다.”

-신사업 준비 중이고 좀 더 체력을 비축한 다음에 추후에 생각하겠다정도로 저희가…

-코팅 경쟁력은 그러면 그 코팅 물질에 대해서 레시피가 있으신 거예요? 아니면 코팅하는 방법을 차별화시키는거에요?

“코팅하는 방법을 차별화시킨 거죠. 레시피는 고객사에서 갖고 있는 거고요. 저희는 레시피에 대한 부분은 모르는 부분인 거고, 단지 이제 저희 설비를 그만큼의 박막의 어떤 데이터가 나왔다 보니까 아무래도 저희도 이걸 가지고 어떤 튜닝을 하면 그런 박막을 어차피 저희 설비로 나온 거기 때문에.”

“앞전에 대표님께서 추가적으로 설명을 해주셨는데, PVD 기술 같은 경우에는 핵심 기술이 마그네트론 기술이거든요. 가우스의 포텐셜을 어떻게 운영해서 챔버 내부에 플라즈마 밀도를 어떻게 가져갈 것인지. 고온으로 가져갈 것인지, 저온으로 가져갈 것인지, 결정화를 비정질로 할 건지, 크리스탈 결정체로 갈 건지에 대한 부분이 저희 바코솔루션에서 솔루션을 갖고 있다 보니까. 아까 말씀하시는 어플라이드의 차세대 공정에 들어가는 MCA-Chuck이라는 게 있어요. Chuck 표면에 딤플이라는 거를 코팅하게 되는데, 그 코팅 비용만 한 5000만원 정도 합니다. 그 코팅을 할 수 있는 데는 거의 A사 독점이었고요. 이 업체들에서 S사나 T사 SK쪽이나… 아니면 대만의 T사 같은 경우에는 세컨 소스를 찾다 보니까 경쟁력이 떨어졌던 거죠. 품질 경쟁력도 떨어지고. 그러다 보니까 저희 설비가 도입된 기점으로 기존의 A사와 동등 이상의 막질이 평가가 돼서. 대만의 T사 같은 경우는 굉장히 까다로운 업체로 소문이 나 있거든요. 전량 다 저희 설비를 통해서 나가고 있고 S사나 기존에 있는 업체들도 다 저희 설비를 통해서 납품을 하고 있습니다.”

“아무래도 기술력이 좀 있다 보니까.”

-지금 직원은 몇 명입니까?

“저희가 직원이 지금 31명 정도 됩니다.”

-그렇군요. 올해는 어쨌든 더 성장할 거라고 생각하셨는데, 워낙 시황이 그렇지만… 그럼에도 불구하고 어쨌든 문서상으로는 작년에.

“최고의 매출이 됐죠.”

-그렇죠. 작년에 98억원 이렇게 됐는데, 올해 한 160억~170억원 그래도 엄청나게 성장하는 거거든요. 내년도 성장할 걸로 보시고?

“네. 내년에도… 워낙 제가 지금 포캐스트 잡아놓은 걸로 봤을 때는 올해보다 좀 더 낫지 않을까라는 생각을 하고 있습니다.”

-내년에 매출 성장을 이끌어갈 수 있는 동력원은 범프 쪽입니까? 아니면…

“범프도 있고 전력반도체도 있고, 그런데 지금 무엇보다도 이제 해외 시장이 열렸다는 것.”

-해외 시장. PO를 받으신 거예요?

“네. PO를 받았습니다.”

-언제 받으셨어요?

“PO를 10월 중순에 받았습니다.”

-얼마 안 됐네요? 우리가 이름 들으면 알 만한 회사입니까?

“이름을 지금 밝히기가 좀 어렵습니다.”

-그러니까 들으면 알 만한 회사예요?

“알 만한 회사일 수도 있습니다.”

-OSAT 인가요?

“OSAT 쪽은 아닙니다.”

-그래요? 전력반도체 쪽인가 보죠?

“네.”

-그렇군요. 미국 회사입니까? 죄송합니다.

“근데 이게 워낙 이런 것 같아요. 결국에는 해외 시장이 열려도 그 해외 시장에서 경쟁 회사를 보면 어플라이드, SPTS, 에바텍인데. 이 기업들의 설비들이 다 비싸요. 다 100억원대, 80억원대, 160억원대 이래요. 근데 저희 설비는 그거의 절반이다 보니까 아무래도 처음에 맛을 보면 잊지를 못한다는 거죠. 그러다 보니까 해외 시장이 열리면 당연히 그 이후에는 좀 계속 비즈니스가 이루어지지 않을까라고 시장을 내다보는 거죠. 국내도 그랬었습니다.”

-그 매출은 올해에 잡혀요? 내년에 잡혀요?

“그 매출은 올해에 잡힙니다.”

-올해에 잡힙니까? 여기는 인도하면 다 나오는 거죠?

“올해, 내년 이렇게 잡힐 것 같아요. 왜냐하면 선금, 중도금, 잔금으로 나눠지기 때문에.”

-그러면 올해 한 중도금까지 받습니까?

“올해는 선금만 받습니다.”

-선금만 받고요? 그렇군요. 기존에 공급하던 장비… 다른 데 공급하던 그 장비가 해외로 가는 거예요?

“지금 저희가 개발한 설비에서 약간 커스텀이 좀 된 겁니다.”

-그래요? 그럼 얘기는 훨씬 이전부터 계속 나왔던 겁니까?

“나왔던 거죠.”

-그렇군요. 한 1년 전부터 계속 들어왔던겁니까?

“맞습니다. 어플라이드와 경쟁을 하다가 저희가 이겼습니다.”

-그렇군요.

“그렇습니다.”

-그러면 지금 1대 받은 거예요?

“원래 지금 총 8대인데요. 그중에 정식 PO는 지금 1대입니다.”

-그러면 들어가고 이러면 나머지 7대 또 추후에 또 나올 수 있는 거군요.

“그리고 워낙 지금 이번에 들어가는 설비에 프로세스가 저희가 예상했던 프로세스고. 저희가 하고자 하는 방향이었던 부분이어서 비아 홀(Via HoLE) 쪽에 채워 넣는 프로세스다 보니까.”

-비아 홀(Via HoLE)에 뭘 채워 넣죠?

“메탈이나.”

-어떤 거죠? 구리?

“그러다 보니까 이 부분이 어쨌든 저희가 고민을 했던 부분인 거고. 그리고 이걸 또 레퍼런스가 없어요 지금. 그러니까 이게 저희가 컨퍼런스를 통해서 계속 미팅만 하다가 고객사에서 날아오시고, 저희 회사의 실태를 보신 다음에 바로 PO를 주신 케이스다 보니까. 아무래도 저희가 어떤 레퍼런스가 없어도 어느 정도 그쪽에서는 같이 뭔가 공동 개발을 하고 싶은 부분들이 있었어요.”

-그렇군요.

-해외 지사나 법인도 그러면 있으세요? 아니면…

“지금은 없습니다. 원래는 중국, 대만 쪽하고 에이전트 계약을 통해서 뭔가를 좀 넓혀가려고 했었는데, 이게 코로나가 딱 걸렸었습니다. 그러면서 그게 물거품이 됐다가 지금 이제 JV도 생각을 하고 있습니다.”

-이제 해외에 그렇게 계속 나가기 시작하면 어쨌든 가서 서비스도 하고 해야 되니까 좀 있어야 될 것 같네요. 해외에 첫 매출인거잖아요.

“첫 매출입니다.”

-축하드립니다. 앞으로 계속 늘어나기를 바라면서. 아까 ‘초격차 스타트업 1000+’로도 과제가 있죠? 그건 어떤 과제인지 소개해주시겠어요?

“추가 연계되는 과제인데요. 이 과제를 통해서 어느 정도 이제 창업 패키지다 보니까 어떠한 성과물을 만들기보다는 기업에 대한 지원에 대한 의미를 많이 부여하고 있어요. 그런데 저희 회사 같은 경우에는 기업에 지원되는 금액을 갖고 실제 데모 설비에다가 투자를 해서 과제 비용 플러스 저희 자체 연구 비용을 플러스시켜서 한 20억원 이상 되는 설비를 구축할 예정이고요. 그 설비를 활용해서 다양한 애플리케이션의 머티리얼을 PVD 스퍼터링 하는 기술을 개발할 예정입니다.”

-대표님 해외 첫 PO 축하드리고, 나머지 PO 다 받으시길 바라고, 다른 신규 기업들 소문 나서 해외에서 매출 확 많이 났으면 좋겠습니다.

“감사합니다.”

-저희가 응원하겠습니다.

“감사드립니다.”

-오늘 나와주셔서 고맙습니다.

“감사합니다.”

정리_송윤섭PD songyunseob@thelec.kr

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