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<자막원문>

진행 : 디일렉 한주엽 대표

출연 : 도쿄일렉트론코리아 박영우 최고기술책임자(CTO)

 

– 안녕하십니까 디일렉의 한주엽입니다. 오늘 저희 배경이 바뀌었는데. 저희가 오늘 개막한 세미콘코리아2023 현장 스튜디오에 나와 있습니다. 오늘 3년 만에 세미콘코리아가 코로나 때문에 못하고 있다가 3년 만에 새로 열렸는데 오늘 사람이 굉장히 많이 와서 등록하는데 줄이 100미터 넘게 서 있고 그렇네요. 예고해드린 대로 오늘하고 내일 저희가 실시간 라이브로 반도체 업계의 주요 C레벨 분들을 모시고 회사의 어떤 경쟁력 그리고 앞으로 시장에 대한 전망 기술에 대한 얘기를 최대한 많은 얘기를 짧은 시간에 들어보는 시간을 갖도록 하겠습니다. 첫 번째 시간은 도쿄일렉트론코리아의 박영우 최고기술책임자(CTO)님을 모셨습니다. 안녕하십니까.

“안녕하십니까. 만나 봬서 반갑습니다.”

– 도쿄일렉트론(TEL)은 반도체 업종에 계신 분들이라면 누구나 아는 글로벌 탑 수준의 장비 제조업체 아닙니까.

“맞습니다.”

– 도쿄일렉트론코리아에 소속돼 계시죠?

“네.

– 최고기술책임자(CTO)로 역할이 지금 나와 있는데. 한국에서 최고기술책임자(CTO) 역할은 어떤 역할을 하시는 거예요?

“전체적인 기술을 총괄을 하면서 장비 개발의 큰 방향을 정한다고 보시면 되겠습니다.”

– 그게 지금 한국을 포함해서 각 지역별로 다 이런 역할들이 다 있는 겁니까?

“맞습니다. 지역별로 저희들 브랜치들이 꽤 많이 있는데. 다 비슷한 역할이 있고. 한국이 처음으로 이런 역할을 하면서 다른 데로 확산이 됐다고 보시면 되겠습니다.”

– 도쿄일렉트론은 굉장히 오래된 회사잖아요. 오래됐다는 게 표현이 약간 부정적으로 보이는데 역사가 깊다.

“맞습니다.”

– 올해 창립 66주년.

“60주년입니다.”

– 굉장히 오래전부터 반도체 장비를 한 회사네요.

“회사가 1963년에 창업을 했습니다. 그래서 그때는 장비를 공급하지만 아주 초보적인 장비를 공급했지만, 60년이 지나면서 거의 주요한 반도체 장비들은 대부분 포토리소그래피를 제외한 장비들은 대부분 주요 칩 메이커에 공급한다고 보시면 되겠습니다.”

– 종합반도체장비 회사이다. 규모가 굉장히 큰, 지금 창립 60주년을 맞이해서 미래 청사진도 발표하고 하시지 않았습니까?

“네.”

– 본사 차원에서. 그거에 대해서 잠깐 가볍게 소개를 해주시죠.

“저희들이 예측하기에는 반도체 시장은 2030년이 되면 지금보다 한 2배 정도 큰, 1조 달러 이상이 될 것으로 생각을 하고 있습니다. 그런 측면에서 저희들이 준비하고 있는 건 2027년에 저희들의 매출이 3조엔 이상을 달성하고”

– 3조엔이면 우리 돈으로 한 30조원 이상 되는 거죠.

“영업이익도 35%, 자기자본이익률도 30% 이상을 달성하는 아주 원대한, 신 중장기 계획을 수립해서 지금 진행 중에 있습니다.”

– 20조원 초반 정도의 어떤 매출을 하고 있는데 지금 2027년에 3조엔을 매출을 하겠다. 영업이익률도 35% 굉장히 높은 숫자인데 이 정도면 일본의 증시에서도 굉장히 높은 수준을 차지하는 그림이 만들어지는 거 아닙니까?

“일본에서 기업들을 보면 3조엔 이상의 매출을 가진 기업체가 약 한 49개 정도가 예측이 됩니다.”

– 연매출 우리 돈으로 한 30조원 이상 되는 회사가요?

“그렇지만 저희들이 추구하는 연매출 30조원 이상 그리고 영업이익 35% 이상. 그리고 순이익으로 따지면 10조원을 공이 추구한 회사는 도쿄일렉트론이 유일무이한 회사가 될 것으로 지금 생각하고 있습니다.”

– 그렇군요. 저는 오늘 사실 SK하이닉스 실적발표가 되고 실적은 공시된 거니까요. 고객사 얘기해서 죄송합니다. 삼성전자도 어제 실적발표를 했고 마이크론은 그전에 발표를 했지만, 메모리 시황이 되게 안 좋다는 걸 우리가 숫자에서도 확인할 수 있었거든요. 어떻습니까? 이런 얘기 하실 수 있습니까? 혹시 도쿄일렉트론에서 바라보는 어떤 향후 시장의 전망이라든지 이런 것들에 대해서 구체적인 건 아니더라도 조금 러프하게라도 얘기를 해주실 수 있습니까? 아니면 불편하시면 넘어가고요.

“전체 칩 메이커의 예측이라든지 이런 건 사실은 저희 영역하고는 약간 다른 분야고요. 어느 정도 저희들도 러프하게 예측은 되지만 구체적으로 코멘트 하기는 조금 어려운 분야라고 생각되고요. 저희들은 저희들 고객과 관련된 내용이라서 좀 더 정확히 이야기하면 구체적인 숫자나 연도를 말씀드리기에는 민감한 부분이 있다고 말씀드리겠습니다.”

– 알겠습니다. 지금 도쿄일렉트론이 한국에서 주로 많이 판매하는 장비군은 어떤 장비군입니까?

“도쿄일렉트론는 8대 주요 장비군이 있는데. 그중에서도 가장 큰 마켓쉐어를 차지하는 부분이 에치 부분이라고 말씀드릴 수 있겠습니다.”

– 식각 장비요? 그것도 공장별로 다 다르겠죠.

“그렇죠. 그중에서도 옥사이드 에처 특히 D램의 옥사이드 에처라든지.”

– 구체적인 공정은 얘기 안 하셔도 됩니다.

“옥사이드 에처나 다일렉트렉 에처 쪽으로 저희들이 굉장히 강한 면을 가지고 있습니다.”

– 그래요? 도쿄일렉트론 장비를 주로 다 쓰고 있다는 얘기입니까?

“다일렉트릭은 저희들이 독보적인 기술들을 가지고 있으면서 세계적으로도 캐치 하는 부분을 차지하고 있습니다.”

– 그것은 그러니까 메모리 투자가 정말 많아야 뭔가 이쪽에서 매출이 많이 일어날 수 있다는 것이군요.

“메모리 투자와 다일렉트릭 에처와 관계가 크지만, 메모리 이외에 로직 분야에서도 저희들이 다일렉트릭 에처, 또 컨덕터 에처 쪽으로 강점을 가지고 있기 때문에 그 부분들이 서로 잘 조화를 이루면서 성장을 하고 있습니다.”

– 그다음으로 비중이 큰 건 어떤 겁니까?

“그다음으로 에처 분야 다음으로는 증착(Deposition) 분야가 저희들이 또 굉장히 스트롱한 포인트라고 할 수 있습니다.”

– 석막 장비. 한국에서 증착이라고 많이 얘기하고 있죠.

“그렇습니다. 석막에는 크게 배치 장비가 있고 그리고 CVD(화학적 기상증착방법)와 같은 싱글 장비가 있는데. 저희들이 두 분야에 대해서 굉장히 강한 포인트를 가지고 있고요. 특히 이 배치는 저희들이 폴리 같은 쪽은 아주 굉장히 많은 마켓쉐어를 차지하고 있고 CVD(화학적 기상증착방법) 분야도 디바이스가 고집적화되면서 장비의 수요가 많아지면서 최근에 급격하게 성장하고 있는 분야라고 말씀드릴 수 있겠습니다.”

– 기술적인 거 몇 가지 여쭤보겠습니다. 요즘 D램 같은 경우는 셀 하나에 커패시터 하나 올라가 있는 구조로 굉장히 오랫동안 왔지 않습니까? 언제가 될지 모르겠지만, 주요 기업들이 논문 쓰고 연구하고 이런 것들을 보면 3D 구조로 많이 바뀔 것 같다고 학계에서도 연구가 많이 일어나고 있고 논문으로도 그것들이 많이 나와 있는데. 도쿄일렉트론도 그런 쪽으로 준비를 하고 계십니까?

“디바이스의 큰 트렌드를 만드는 건 칩 메이커가 주로 리딩을 하지만 그런 부분을 서포팅하는 입장에서 일례로 낸드플래시가 2D에서 3D화되면서 많은 변화가 있듯이 D램이나 나중에 로직도 3D화될 거다라고 그렇게 예측하면서 저희들이 준비를 하고 있습니다.”

– 그렇게 3D화가 되면 도쿄일렉트론 같은 증착 대포지션 장비, 에치 장비 하는 회사 입장에서는 더 좋아지는 겁니까? 어떻게 되는 겁니까?

“2D가 3D가 되면서 저희들이 낸드에서 경험했듯이 포토에서 증착(Deposition)과 에치로 큰 변혁이 일어납니다. 증착(Deposition) 에치 이번 세정 쪽으로 그래서 저희들도 에치라든지 증착(Deposition), 세정 쪽으로 강점이 있기 때문에 3D가 바뀌더라도 충분히 잘 준비하고 있다라고 말씀드릴 수 있고요”

– 지금은 D램에 EUV를 적용을 조금씩 늘리고 있는 상황인데. 지금 3D로 언제가 될지는 모르겠지만 대략 예측하는 시기는 있는 것 같더라고요. 길긴 한데. 그렇게 바뀌었을 때는 더 이상 우리가 노광 쪽에서 그렇게 비싼 장비를 쓰지 않아도 된다라는 걸 지금 3D 낸드에서 지금 이미 다 보여주고 있지 않습니까?

“그렇습니다. 가장 큰 변화가 3D 낸드를 보면 2D 낸드에서는 QPT(쿼드러블 패터닝)라든지 DPT(더블 패터닝)가 많이 사용됐었는데 그 당시가 EUV가 없어서 더 이상 쉴리크는 안 됐지만 3D화 되면서 EUV에 대한 니즈가 제로가 됐습니다.”

– ArF(불화아르곤)도 많이 안 쓴다면서요.

“그렇죠. 디자인 룰 자체가 굉장히 릴렉스 돼서 포토 측면에서는 기본적인 베이스라인만 되면 될 수 있는 분야가 됐다. 그렇게 말씀드릴 수 있고요. 3D가 3D D램이 되면 EUV에 대한 니즈가 많이 줄어들 거다. 그렇게 예측들을 하고 있습니다.”

– 식각이나 증착 쪽 장비를 잘하는 회사들은 오히려 더 기회가 올 수 있다라고 예상을?

“그렇습니다.”

– 당연히 준비도 하고 계시겠네요.

“그렇습니다.”

– 회사의 R&D 선행개발 차원에서요.

“저희들 R&D를 한 10년을 보고 준비를 하고 있기 때문에. 2D에서 3D로 바뀌는 큰 변화에 대해서는 저희들이 차질 없이 준비를 해서 고객들의 니즈를 충분히 만족시키려고 열심히 준비하고 있습니다.”

– 낸드 같은 경우에 스택이 지금 싱글 스택에서 더블 스택으로 가고 또 어떤 데는 하나를 더 스펙을 늘리겠다. 이런 식의 얘기들도 나오고 있는 것 같은데 그 스택이 늘어나는 것과 장비 업체들의 매출은 상관관계가 있습니까?

“있습니다. 투 스택, 쓰리 스택이 된다는 건 그만큼 계단의 수가 증가하는 거거든요. 계단의 수가 증가하면 그만큼 증착(Deposition)의 시간이 많이 들고 그리고 하이트가 올라가기 때문에 거기를 에칭하기 위해서 굉장히 많은 시간과 고도의 기술이 필요하기 때문에 장비가 더욱더 고도화가 돼야 됩니다. 그래서 장비업체 측면에서 보면 장비 대수와도 관계가 있고. 그리고 장비 자체가 고도의 기술을 요구하기 때문에 여러 가지 생각해야 될 게 많이 있습니다.”

– 도쿄일렉트론코리아도 뭔가 한국의 생산 제조시설이 있습니까?

“저희들이 R&D 센터가 있고. 동탄의 R&D 센터가 있고 발안 제조팩토리를 가지고 있습니다.”

– 거기서는 뭘 만들어요?

“거기서는 여러 가지 부품, 저희들이 장비를 커스터머에 납입하면 각종 부품들을 조달해줘야 되는데. 그런 조달을 저희들이 발안 팩토리에서 주로 담당을 하고 있습니다.”

– 주로 일본에서 만들어진 장비에 들어가는 뭔가의 파츠들이라든지 이런 것들을 여기서 조달을 해서.

“조달을 하기도 하고 저희들이 자체적으로도 제조를 하는 부분도 있습니다.”

– 그렇군요. 수출도 혹시 하십니까?

“수출은 하지는 않고요. 저희들은 국내 커스터머를 최대한 서포트하는 그런 입장이라고 볼 수 있겠습니다.”

– 지금 국내에서도 어쨌든 채용도 많이 하셔야 되고 하시잖아요? 지금 직원도 되게 많지 않습니까?

“저희들이 현재 약 한 1800명 정도.”

– 1800명이나 있어요? 계속 늘어난 것이죠?

“그렇죠. 반도체가 최근에 성장을 하면서 저희들도 아주 기하급수적으로 늘어났습니다.”

– 국내에서도 여러 가지 인재 양성 프로그램이라든지 이런 활동들 많이 하고 계신 걸로 알고 있는데. 간단하게 소개를 한번 해주시죠.

“저희들이 국내에 대학이라든지 또는 여타 협력업체들하고 많은 관계를 맺고 있는데요. 특히 국내의 인력 환경이 잘 조성돼야만 도쿄일렉트론코리아도 성장할 수 있기 때문에 대학과의 협업 프로젝트를 많이 하고 있습니다. 일례로 반도체 장비 전문 인력들을 육성하기 위해서 저희들이 장학금을 서포트 한다든지. 그리고 핵심 되는 기술들을 공동 개발하기 위해서 국내 대학교, 작년에 저희들이 4개의 프로젝트를 론칭했습니다. 국내 대학교들하고. 에칭 기술이라든지 증착(Deposition) 기술 또는 시뮬레이션 기술들. 핵심 기술들에 대해서 연구 프로젝트를 진행하고 있고요. 그리고 또 저희들이 다양한 학술 활동을 통해서 도쿄일렉트론의 기술들을 소개하고 이런 부분들을 더 학생들하고 공유하면서 전체적으로 레벨업을 올리기 위해서 노력을 하고 있고 또한 현지화 측면에서 저희들이 R&D 센터를 현재 건립 중에 있습니다.”

– 그건 설립 중입니까 R&D 센터는?

“내년 1Q 정도에 완성되는 R&D 센터를 건립 중에 있습니다.”

– 건물을 짓고 계신 거예요?

“네.”

– 지금 어느 정도 규모로 짓고 계신 거예요?

“규모로 보면 외국계 기업 중에서는 국내 최대라고 말씀드릴 수 있겠습니다.

– 몇 명 정도 거기에 지금 그럼 들어가는 건가요?

“구체적으로 말씀드리기는 어렵지만.”

– 꽤 많은 사람들이 들어가겠네요.

“그렇죠.”

– 거기 가면 다 R&D 하는 사람들만 돌아가서.

“R&D 쪽이라고 보시면 되겠습니다. 삼성전자나 다른 SK하이닉스와 같은 커스터머 서포트하기 위한 그런 시설이라고 보시면 되겠습니다.”

– 어디에 하고 있었어요?

“저희들이 화성에 센터가 하나 건립 중이고요. 그리고 또 다른 부분에도 하나 지금 건립 중에 있습니다.”

– CTO님 오늘 전시회 때문에 북적북적 하는데 나와서 말씀해 주셔서 고맙습니다.

“감사합니다.”

정리_박효정 PD gywjjdd@thelec.kr

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