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원자층증착
반도체
2024년 4월 19일
차세대 D램 ‘버티컬 4F스퀘어’ 쓰일 ALD 산화물반도체 기술은 무엇? 주성엔지니어링 큰 기회 보나
박진성 한양대학교 교수
최홍석
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